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各种局部净化设备和洁净厂房空气净化的终端,适用于IC、超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台、生产制成设备等其他要求超高洁净度的场合(1-100K要求)。

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